| 发明名称 |
Dämpfungsvorrichtung und Turbomolekularpumpe mit Dämpfungsvorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69833067(T2) |
申请公布日期 |
2006.09.14 |
| 申请号 |
DE19986033067T |
申请日期 |
1998.04.17 |
| 申请人 |
EBARA CORP. |
发明人 |
MURAKAMI, CHIKARA;SATOH, ICHIJU |
| 分类号 |
F16F15/03;F04D19/04;F04D29/66 |
主分类号 |
F16F15/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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