| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes sowie ein nach dem Verfahren hergestelltes Halbleiterbauelement |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50207724(D1) |
申请公布日期 |
2006.09.14 |
| 申请号 |
DE20025007724 |
申请日期 |
2002.02.21 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BENZEL, HUBERT;WEBER, HERIBERT;SCHAEFER, FRANK |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;B81B1/00;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/699 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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