| 发明名称 |
Ein Bauelement und ein Verfahren zum Ausbilden von ferroelektrischen Kondensatorbauelementen und FeRAM-Bauelementen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112004002180(T5) |
申请公布日期 |
2006.09.14 |
| 申请号 |
DE200411002180 |
申请日期 |
2004.09.03 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
HILLIGER, ANDREAS;LIAN, JEENY |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/8246;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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