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发明名称
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AQUEOUS DISPERSION, CHEMICAL MECHANICAL POLISHING METHOD, AND KIT FOR PREPARING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AQUEOUS DISPERSION
摘要
申请公布号
KR20060097633(A)
申请公布日期
2006.09.14
申请号
KR20060021662
申请日期
2006.03.08
申请人
JSR CORPORATION
发明人
UCHIKURA KAZUHITO;HATTORI MASAYUKI;KAWAHASHI NOBUO
分类号
C09K3/14
主分类号
C09K3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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