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发明名称 Wet treatment nozzle, nozzle device and wet treatment apparatus
摘要
申请公布号 EP1076356(B1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 EP20000306880 申请日期 2000.08.11
申请人 ALPS ELECTRIC CO., LTD.;KAIJO CORPORATION 发明人 HAGA, NOBUAKI;MITSUMORI, KENICHI;KASAMA, YASUHIKO
分类号 B08B3/04;H01L21/00;B08B3/08;B08B3/12;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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