碳纳米管器件的制作方法及碳纳米管器件

摘要

本发明提供一种良好且高重复性的使碳纳米管和电极进行欧姆接触的碳纳米管器件的制作方法，及被欧姆接触了的碳纳米管器件。碳纳米管器件的制作方法，包含使碳纳米管与内部电极连接的连接工序，其特征在于，上述连接工序包含：导体附着工序，在针状或者棒状的外部电极的端部或其周边附着导体；配置工序，使上述碳纳米管与上述内部电极的预定的连接部位接触或者接近地配置；接近工序，使附着了导体的上述外部电极的端部与上述连接部位接近；转移工序，使附着在上述外部电极上的导体向上述连接部位或其周边移动，以使上述碳纳米管和上述内部电极连接。

主权项

1.一种碳纳米管器件的制作方法，包含使碳纳米管与内部电极连接的连接工序，其特征在于，上述连接工序包含以下工序：导体附着工序，在针状或者棒状的外部电极的端部或其周边附着导体，其中上述导体为颗粒状；配置工序，使上述碳纳米管与上述内部电极的预定的连接部位接触或者接近地配置；接近工序，使附着了导体的上述外部电极的端部与上述连接部位接近；和转移工序，在上述外部电极和内部电极之间施加脉冲电压，通过该电场产生的电力使在上述外部电极上附着的导体向上述连接部位或其周边移动，以使上述碳纳米管和上述内部电极连接。