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发明名称 PRECURSORS FOR DEPOSITION OF RUTHENIUM THIN FILM AND DEPOSITION METHOD USING THEM
摘要
申请公布号 KR100624514(B1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 KR20050048753 申请日期 2005.06.08
申请人 DNF SOLUTION CO., LTD. 发明人 KIM, JIN DONG;KIM, MYONG WOON;HA, SEUNG WON;PARK, SANG JIN
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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