SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS,申请号KR20010011651-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100624292(B1)	申请公布日期	2006.09.13
申请号	KR20010011651	申请日期	2001.03.07
申请人		发明人
分类号	G03F7/38;B05C9/12;B05D1/40;B08B7/00;G03F7/085;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065	主分类号	G03F7/38
代理机构		代理人
主权项
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