发明名称 | 镍或镍合金的剥离液 | ||
摘要 | 本发明提供在不溶解镍或镍合金以外的金属,特别是不溶解铜或铜合金薄膜以及锡或锡合金薄膜的条件下,选择性高速溶解镍或镍合金薄膜的剥离液。本发明的剥离液为含有(a)过氧化氢、(b)无机酸、(c)季胺盐及(d)碳数为3~7的脂肪族醇的水溶液。 | ||
申请公布号 | CN1274880C | 申请公布日期 | 2006.09.13 |
申请号 | CN03140715.3 | 申请日期 | 2003.05.30 |
申请人 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 发明人 | 高桥健一;木暮直毅;细田笃史 |
分类号 | C23F1/28(2006.01);C23F1/44(2006.01);H05K3/06(2006.01) | 主分类号 | C23F1/28(2006.01) |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 谷惠敏;关兆辉 |
主权项 | 1.一种镍或镍合金的剥离液,为含有(a)过氧化氢、(b)从硫酸和硝酸中选择的至少一种无机酸、(c)季胺盐及(d)碳数为3~7的脂肪族醇的水溶液。 | ||
地址 | 日本东京 |