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发明名称 SURFACE ACOUSTIC WAVE SENSOR ASSEMBLIES
摘要
申请公布号 EP1700108(A1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 EP20040818054 申请日期 2004.12.17
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 CARTER, CHAD, J.;FREE, M., BENTON;HUIZINGA, JOHN, S.;JOHNSTON, RAYMOND, P.
分类号 G01N29/02;G01N29/22;G01N29/24;H01L21/60;H01L41/047;H03H9/05;H05K3/32 主分类号 G01N29/02
代理机构 代理人
主权项
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