| 发明名称 |
Thermal anemometry mass flow measurement apparatus and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2417786(B) |
申请公布日期 |
2006.09.13 |
| 申请号 |
GB20050024492 |
申请日期 |
2004.05.17 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS INC |
发明人 |
ALI SHAJIL;NICHOLAS E KOTTENSTETTE;LEONARD R MYATT;JEFFREY V ANASTAS |
| 分类号 |
G01F1/684;G01F1/68;G01F1/688;G05D7/06 |
主分类号 |
G01F1/684 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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