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发明名称
APPARATUS FOR USE IN SPIN COATING AND METHOD FOR PHOTO-RESISTOR COATING THEREOF
摘要
申请公布号
KR20060096542(A)
申请公布日期
2006.09.13
申请号
KR20050017143
申请日期
2005.03.02
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
PARK, SUNG HWA
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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