ELECTROSTATIC CHUCK STRUCTURE IN SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT,申请号KR20050017137-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ELECTROSTATIC CHUCK STRUCTURE IN SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号	KR20060096538(A)	申请公布日期	2006.09.13
申请号	KR20050017137	申请日期	2005.03.02
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	LEE, JUNG HUI
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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