圆柱形磁控管靶及将该靶附接到可旋转轴组件的设备

摘要

一种改进的互连系统，用于将改进的圆柱形磁控管靶(200)连接到可旋转的带有突缘的轴(100)上，所述系统将环形延伸(204)结合在靶(200)上，该延伸配合在靶附接突缘(102)的边缘之上，便于靶(200)在轴(100)上对中，并有助于保护大的密封表面。环形延伸(204)终止于向内倾斜的圆周阶台内。靶—轴互连系统包括开缝夹圈(207A/207B)和通常为环形的卡环(206)，卡环可以在轴杆(109)上滑动并且可相对靶附接突缘(102)转动，卡环(206)具有外部圆周螺纹，螺纹倾斜离开突缘(102)。开缝夹圈(207A/207B)一端具有向内倾斜的内部螺旋形圆周螺纹(211)，当卡环(206)转动时，该螺纹与卡环(206)的螺纹接合以拉动作为一体组件的靶(200)和轴(100)。

主权项

1.一种用于将圆柱形磁控管靶附接到可旋转支撑轴上的设备，所述设备包括：支撑轴结构，包括靶附接突缘，所述靶附接突缘具有后面和前面，并包括圆周凹槽，O形环密封插入所述凹槽；圆柱形靶结构，在其轴附接端具有圆周肩，所述肩终止于向内倾斜的突出圆周阶台内，所述阶台的朝向离开所述轴附接端；包括弓形部件的夹圈，共同设置所述夹圈的尺寸以便同轴围绕所述圆柱形靶结构，所述夹圈包括向内倾斜的夹紧突耳和至少一个向内倾斜的内部螺旋形圆周螺纹，所述夹紧突耳与圆柱形靶结构的突出圆周阶台接合，所述螺纹与所述向内倾斜的夹紧突耳隔开；和卡环，其尺寸设置得可以在支撑轴结构上滑动并可相对靶附接突缘的后面旋转，所述卡环具有外部圆周螺旋形螺纹，所述螺纹从靶附接突缘靶附接突缘倾斜离开，所述卡环的外部圆周螺旋形螺纹与夹圈的至少一个向内倾斜的内部螺旋形圆周螺纹接合，当卡环沿螺纹接合方向旋转时，以便向靶附接突缘拉动夹紧突耳和接合靶。