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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR VACUUM FILM FORMATION
摘要
申请公布号 KR100620664(B1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 KR20047006171 申请日期 2002.11.21
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;C23C14/18;C23C14/56;H01M4/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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