发明名称 回收平版印刷工具中所用气体的方法和装置
摘要 一种用于回收平版印刷工具中气体的系统和方法。第一室包括基于第一气体发射光的元件。第二室利用发射的光执行处理,该第二室包括第二气体。第一和第二气体在两室之间汇聚,至少一种气体被抽送到一存储装置中。两种气体中的至少一种或者在系统内或者远离系统从存储装置回收,并可能在系统内再利用。气栓可连接第一室和第二室。气源提供在第一和第二气体之间气栓中的第三气体,从而使第一气体和第二气体在气栓中隔离。第一、第二和/或第三气体可被抽送到存储装置,并发送到回收装置。第一、第二和/或第三气体可回收供再利用,来形成发射光。
申请公布号 CN1275099C 申请公布日期 2006.09.13
申请号 CN200410030147.1 申请日期 2004.03.19
申请人 ASML控股股份有限公司 发明人 斯蒂芬·鲁
分类号 G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 寇英杰
主权项 1.一种回收平版印刷工具中所用气体的系统,包括:第一室,其包括使用第一气体产生光的元件,所述第一气体从由氙、锂蒸气、锡、氪和水蒸气所构成的组中选择;第二室,其使用所述发射的光来执行平版印刷过程,该第二室包括第二气体,所述第二气体从由氦、氩、氢和氮所构成的组中选择;泵,其把至少第一气体抽到一存储装置中;以及控制器,其把气体自存储装置发送到回收装置。
地址 荷兰费尔德霍芬