发明名称 |
回收平版印刷工具中所用气体的方法和装置 |
摘要 |
一种用于回收平版印刷工具中气体的系统和方法。第一室包括基于第一气体发射光的元件。第二室利用发射的光执行处理,该第二室包括第二气体。第一和第二气体在两室之间汇聚,至少一种气体被抽送到一存储装置中。两种气体中的至少一种或者在系统内或者远离系统从存储装置回收,并可能在系统内再利用。气栓可连接第一室和第二室。气源提供在第一和第二气体之间气栓中的第三气体,从而使第一气体和第二气体在气栓中隔离。第一、第二和/或第三气体可被抽送到存储装置,并发送到回收装置。第一、第二和/或第三气体可回收供再利用,来形成发射光。 |
申请公布号 |
CN1275099C |
申请公布日期 |
2006.09.13 |
申请号 |
CN200410030147.1 |
申请日期 |
2004.03.19 |
申请人 |
ASML控股股份有限公司 |
发明人 |
斯蒂芬·鲁 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
寇英杰 |
主权项 |
1.一种回收平版印刷工具中所用气体的系统,包括:第一室,其包括使用第一气体产生光的元件,所述第一气体从由氙、锂蒸气、锡、氪和水蒸气所构成的组中选择;第二室,其使用所述发射的光来执行平版印刷过程,该第二室包括第二气体,所述第二气体从由氦、氩、氢和氮所构成的组中选择;泵,其把至少第一气体抽到一存储装置中;以及控制器,其把气体自存储装置发送到回收装置。 |
地址 |
荷兰费尔德霍芬 |