发明名称 LITHOGRAPHIC PROJECTION DEVICE, METHOD AND SUBSTRATE FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICES, AND OBTAINED ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 EP1700168(A2) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 EP20040820862 申请日期 2004.12.07
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW (IMEC) 发明人 DIRKSEN, PETER
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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