用于产生均匀处理速率的天线

摘要

一种用于通过窗口在处理腔室中产生电场的天线装置。一般地，天线装置包括外环，该外环包括围绕天线轴布置的第一外环圈；内环，其包括围绕天线轴布置的第一内环圈，其中内环在每个方位方向比起外环更靠近天线轴；以及径向连接器，其径向地将所述外环电连接到所述内环，其中径向连接器被安置成离窗口距离大。

主权项

1.一种用于通过窗口在处理腔室内产生电场的天线装置，所述天线装置包括：外环，其包括围绕天线轴放置的第一外环圈；内环，其包括围绕天线轴放置的第一内环圈，其中所述内环圈在每个方位方向上比起所述第一外环圈更靠近天线轴；以及径向连接器，其在径向上电连接外环和内环，其中径向连接器被安置成离窗口距离大。