发明名称 Hemispherical-grained silicon top-gate electrode for improved soft-error immunity in SRAMs
摘要
申请公布号 EP0821412(B1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 EP19960111963 申请日期 1996.07.24
申请人 UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 SUN, SHIH-WEI
分类号 H01L27/11 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
主权项
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