制程终点曲线的图形辨认法及其系统

摘要

一种干刻蚀制程终点曲线的辨认法及其系统，该系统以相关于该干刻蚀制程的一组训练曲线训练一类神经网络，其中所述训练曲线含有正常与异常特征。该系统在该类神经网络处接收代表一干刻蚀制程的终点曲线，并侦测该终点曲线中的异常特征。

主权项

1.一种制程终点曲线的图形辨认方法，其特征在于，包括下列步骤：用一组符合制程的训练曲线训练一类神经网络，该训练曲线包含常态与异态特征；在该类神经网络所描述的制程接收一终点曲线；及在该终点曲线辨认出异态特征。