| 发明名称 | 蒸发装置 | ||
| 摘要 | 一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置，其具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10)；覆盖长形坩埚(10)的上部开放部，且通过通电而发热，以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12)；以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22)，且在线材(22)及电热器(12)之间，沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20)，以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用，以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。 | ||
| 申请公布号 | CN1274871C | 申请公布日期 | 2006.09.13 |
| 申请号 | CN200410038118.X | 申请日期 | 2004.05.08 |
| 申请人 | 三洋电机株式会社 | 发明人 | 岩濑博俊;加藤晴三;落合真世;远藤铁郎 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;王刚 |
| 主权项 | 1.一种蒸发装置，具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10)；覆盖上述长形坩埚(10)的上部开放部，且通过通电而发热，以对上述长形坩埚(10)内的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的上述蒸发材料可通过的开口的电热器(12)；以及将该电热器(12)朝上述长形坩埚(10)按压并予以固定的固定构件，且在上述固定构件与上述电热器(12)之间，沿上述长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20)，该角材(20)具有可与上述长形坩埚(10)的上面侧部及侧面上部配合的面部，且上述固定构件的按压力系通过上述角材(20)而作用于上述电热器(12)，以使上述电热器(12)密接于上述长形坩埚(10)。 | ||
| 地址 | 日本大阪府守口市 | ||