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发明名称 NANOPATTERNING OF ORGANIC AND METAL THIN FILMS USING LOW ENERGY ATOMIC FORCE MICROSCOPE SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100626408(B1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 KR20050090077 申请日期 2005.09.27
申请人 IUCF-HYU (INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY) 发明人 LEE, HAI WON;LEE, SUN WOO;PYO, EOL
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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