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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100624273(B1) 申请公布日期 2006.09.13
申请号 KR20000050635 申请日期 2000.08.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/18;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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