发明名称 |
激光加工用掩模的制造方法 |
摘要 |
一种激光加工用掩模的制造方法,具有预定的加工图案,包括:在由激光透过材料形成的第1基板部件的一面形成由激光的反射材料构成的材料层的第1工序,在材料层上形成加工图案的第2工序,以及在形成了加工图案的材料层的没有形成第1基板部件的一侧接合由激光的透过材料构成的第2基板部件的第3工序;第3工序通过对形成加工图案的材料层和第1基板部件的组合体以及第2基板部件中的至少一个施加高频振动,使两者接合。因此,这种激光加工用掩模的制造方法,没有因激光束照射所引起的发热而导致的变形。 |
申请公布号 |
CN1275292C |
申请公布日期 |
2006.09.13 |
申请号 |
CN200410064404.3 |
申请日期 |
2001.01.09 |
申请人 |
住友重机械工业株式会社 |
发明人 |
浜田史郎 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01);B23K20/10(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1.一种激光加工用掩模的制造方法,具有预定的加工图案,其特征在于,包括:在由激光透过材料形成的第1基板部件的一面形成由激光的反射材料构成的材料层的第1工序,在所述材料层上形成所述加工图案的第2工序,以及在形成了所述加工图案的所述材料层的没有形成所述第1基板部件的一侧接合由激光的透过材料构成的第2基板部件的第3工序;所述第3工序通过对形成所述加工图案的所述材料层和所述第1基板部件的组合体以及所述第2基板部件中的至少一个施加高频振动,使两者接合。 |
地址 |
日本东京都 |