发明名称 |
Formation of semiconductor bodies |
摘要 |
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申请公布号 |
US3096209(A) |
申请公布日期 |
1963.07.02 |
申请号 |
US19600029836 |
申请日期 |
1960.05.18 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
JR. HERBERT S. INGHAM, |
分类号 |
C23C16/448;C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14 |
主分类号 |
C23C16/448 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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