发明名称 Formation of semiconductor bodies
摘要
申请公布号 US3096209(A) 申请公布日期 1963.07.02
申请号 US19600029836 申请日期 1960.05.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JR. HERBERT S. INGHAM,
分类号 C23C16/448;C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
主权项
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