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发明名称 INTERCONNECTION STRUCTURE AND FABRICATION PROCESS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR100623556(B1) 申请公布日期 2006.09.12
申请号 KR19990049654 申请日期 1999.11.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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