薄膜合金

摘要

本发明在提供一种用以制造薄膜的薄膜合金，使薄膜具有高强度、高耐腐蚀性与高反射率，该薄膜合金是在平衡量的银中添加一原子百分比总合介于0.01至5.0之间的添加元素单元，添加元素单元中具有原子百分比介于0.01至2.0之间的强化元素、原子百分比介于0.01至2.0之间的耐蚀元素，与原子百分比介于0.01至3.0之间的高反射元素，强化元素使薄膜合金晶粒度减少以提高薄膜机械强度，耐蚀元素在薄膜合金表面产生氧化物以保护薄膜不受腐蚀，高反射元素扩大合金固溶区域避免析出物产生，使薄膜具有高反射率。

主权项

1.一种薄膜合金,用于形成一具有高强度、高耐腐蚀,及高反射率特性之薄膜,该薄膜合金包含:一平衡量的银;及一原子百分比总合介于0.01至5.0之间的添加元素单元,该添加元素单元具有一原子百分比介于0.01至2.0之间的强化元素、一原子百分比介于0.01至2.0之间的耐蚀元素,与一原子百分比介于0.01至3.0之间的高反射元素,该强化元素是选自由钡、钪、矽、钛、铟、锗、锌、铋,及此等之组合所构成的群组,而使该薄膜之晶粒度减少及使该薄膜的机械强度提高,该耐蚀元素是选自由钪、铍、铝、钛、铬、锌、镍,及此等之组合所构成的群组,而在该薄膜表面产生一氧化层以保护该薄膜不受腐蚀,且该强化元素与该耐蚀元素中任一相同元素之总原子百分比并介于0.01至2.0之间,该高反射元素是选自由钯、铜、铂,及此等之组合所构成的群组,而可扩大该薄膜合金之合金固溶区域避免析出物产生,使该薄膜具有高反射率。图式简单说明:图1是一穿透式电子显微镜照片,说明本发明添加0.5at%钛、0.05 at%铟与0.5at%铜的薄膜合金镀成薄膜后之显微组织;及图2是一穿透式电子显微镜照片,说明以纯银为材料镀成薄膜后之显微组织。