电极隔离壁

摘要

一种电极隔离壁，系在一已形成条状第一电极之基板上，形成与该第一电极垂直之电极隔离壁结构，系利用一般正型光阻材料，先以斜向曝光，再以垂直曝光之两次曝光方式，显影形成该电极隔离壁。该电极隔离壁将形成一与该下底面垂直之第一侧面，及一第二侧面与该基板表面形成一锐角夹角，形成一侧面外悬凸出之结构，如此当后续第二电极镀膜上去时，因该上底面一侧边外悬凸出，可隔断第二电极的金属成膜于两个电极隔离壁之间，而达成电极分隔的目的。

主权项

1.一种电极隔离壁,系设于具有已图案化第一电极之基板上,该电极隔离壁包括:一下底面,系该电极隔离壁与该基板之接触面;一上底面,系该电极隔离壁与该下底面平行之平面,且该上底面宽度大于该下底面;一第一侧面,系该电极隔离壁之一侧面,且该第一侧面与该下底面垂直;一第二侧面,系相对于该第一侧面之另一侧面,且该第二侧面与该基板表面形成一锐角夹角。2.如申请专利范围第1项所述之电极隔离壁,其中该电极隔离壁与该基板上之第一电极图案呈垂直。3.如申请专利范围第1项所述之电极隔离壁,其中该夹角系为15至75间。4.如申请专利范围第2项所述之电极隔离壁,其中该夹角最佳角度为30至60间。图式简单说明:第1图,系习知之电极隔离壁之剖面示意图。第2图,系本发明之电极隔离壁之剖面示意图。第3-1图-第3-3图,系本发明之电极隔离壁制作流程之剖面示意图。第4-1图-第4-5图,系本发明之另一电极隔离壁制作流程之剖面示意图。