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经营范围
发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR COATING DEVELOPER
摘要
申请公布号
KR100625321(B1)
申请公布日期
2006.09.11
申请号
KR20050075853
申请日期
2005.08.18
申请人
SEMES CO., LTD.
发明人
CHOI, JONG SU;CHOI, YOUNG KWEON
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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