| 发明名称 |
A SYSTEM FOR COATING A SUBSTRATE, AND AN INSERT ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060096296(A) |
申请公布日期 |
2006.09.11 |
| 申请号 |
KR20060018827 |
申请日期 |
2006.02.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG |
发明人 |
SCHUHMACHER MANFRED;JOOS GERHARD |
| 分类号 |
C23C14/00;C03C17/09;C03C17/245 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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