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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE69635867(T2) 申请公布日期 2006.09.07
申请号 DE19966035867T 申请日期 1996.11.20
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 NORSTROEM, HANS
分类号 H01L21/316;H01L29/73;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/322;H01L21/328;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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