发明名称 METHOD FOR STRIP OF PHOTORESIST IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100623923(B1) 申请公布日期 2006.09.07
申请号 KR20050090898 申请日期 2005.09.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JUNG, TAE WOO;LEE, SUNG KWON
分类号 H01L21/027;H01L21/28 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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