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发明名称 Vorrichtung zum Abscheiden von dünnen Schichten
摘要
申请公布号 DE69535122(D1) 申请公布日期 2006.09.07
申请号 DE19956035122 申请日期 1995.12.27
申请人 CANON K.K. 发明人 AOIKE, TATSUYUKI
分类号 G03G5/08;H01J37/32;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
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