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发明名称 Teilchenstrahlgerät
摘要
申请公布号 DE10344492(B4) 申请公布日期 2006.09.07
申请号 DE20031044492 申请日期 2003.09.24
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 MUELLER, HELMUT
分类号 H01J37/20;H01J37/26;G01N23/00;H01J7/24;H01J37/02;H01J37/09 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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