具有用于处理微特征工件的可互换湿处理部件的集成工具以及自动校准系统

摘要

一种集成工具和自动校准系统能够使湿化学处理腔室、提升旋转单元和其它硬件快速互换，而不必对于更换物品重新校准输送系统或其它部件。这些工具将减少与修理或维护处理腔室和/或提升旋转单元相关的停机时间，因此，工具能够保持很高生产率。这些工具的几个方面特别有利于具有苛刻性能需要的用途，因为部件很可能需要更频繁地维护，且减少与维护这些部件相关的停机时间将明显改善了集成工具。

主权项

1.一种用于微特征工件的湿化学处理的集成工具，包括：安装模块，该安装模块有多个定位元件；湿化学处理腔室，该湿化学处理腔室由安装模块承载，该湿化学处理腔室有第一交接部件，该第一交接部件与一个定位元件接合；输送系统，该输送系统由安装模块承载，用于在工具内输送工件，输送系统有第二交接部件，该第二交接部件与定位元件之一接合；以及其中，安装模块构造成保持在定位元件之间的相对位置，这样，当处理腔室由另一处理腔室代替时，输送系统并不需要重新校准。