发明名称 其中具有嵌入式电容器的印刷电路板及其制造方法
摘要 所公开的是一种其中具有嵌入式电容器的印刷电路板,包括:双面覆铜叠层,包括形成在其外层中的第一电路层,所述第一电路层包括底电极以及电路图案;电介质层,通过借助原子层沉积在所述第一电路层上沉积氧化铝膜而形成;第二电路层,形成在所述电介质层上并且包括顶电极以及电路图案;一面覆铜叠层,形成在所述第二电路层上;盲过孔和通孔,形成在一面覆铜叠层的预定部分中;以及形成在所述盲过孔和通孔中的镀层。也公开了所述印刷电路板的制造方法。
申请公布号 CN1829420A 申请公布日期 2006.09.06
申请号 CN200610058626.3 申请日期 2006.03.02
申请人 三星电机株式会社 发明人 安镇庸;黄哲盛;金成根;柳彰燮;曹硕铉;全皓植
分类号 H05K3/46(2006.01);H05K1/16(2006.01);H01L21/48(2006.01);H01L23/64(2006.01) 主分类号 H05K3/46(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 杨生平;杨红梅
主权项 1.一种用于制造其中具有嵌入式电容器的印刷电路板的方法,所述方法包括以下步骤:(a)在双面覆铜叠层的外层中形成包括底电极及电路图案的第一电路层;(b)通过原子层沉积(ALD)在所述第一电路层上沉积氧化铝(Al2O3)膜以在其上形成电介质层;(c)在所述电介质层上形成包括顶电极及电路图案的第二电路层;(d)在所述第二电路层上沉积一面覆铜叠层;(e)在所述一面覆铜叠层的预定部分中形成盲过孔和通孔;以及(f)镀所述盲过孔和所述通孔以在所述层之间形成连接。
地址 韩国京畿道