发明名称 A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE WITH SOLID PHASE EPITAXIAL REGROWTH WITH REDUCED DEPTH OF DOPING PROFILE AND METHOD OF PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 EP1697979(A2) 申请公布日期 2006.09.06
申请号 EP20040801534 申请日期 2004.12.10
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 PAWLAK, BARTLOMIEJ, J.
分类号 H01L21/265;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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