| 发明名称 | 磁电管溅射源的滑动阳极 | ||
| 摘要 | 一种磁电管溅射源包括多个电极(12)和切换电路(14)。切换电路(14)顺序地将多个电极(12)的每个连接到接地参考，使其成为阳极，同时将多个电极的剩余连接作为阴极。一种操作磁电管溅射源的方法包括步骤：提供多个目标排列；使得多个目标排列的每个用作阴极；以及顺序地使得多个阴极的每个暂时地用作阳极。 | ||
| 申请公布号 | CN1830055A | 申请公布日期 | 2006.09.06 |
| 申请号 | CN200480021464.5 | 申请日期 | 2004.07.26 |
| 申请人 | 优纳克斯巴尔策斯股份有限公司 | 发明人 | 沃尔特·哈格;派厄斯·格吕嫩费尔德 |
| 分类号 | H01J37/34(2006.01) | 主分类号 | H01J37/34(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 秦晨 |
| 主权项 | 1.一种磁电管溅射源，包括：多个电极；以及切换电路，用于顺序地连接所述多个电极的每个作为阳极，以及连接所述多个电极的剩余电极作为阴极。 | ||
| 地址 | 列支敦士登巴尔策斯 | ||