发明名称 |
微流体喷涂薄膜成形装置及其方法 |
摘要 |
本发明涉及一种微流体喷涂薄膜成形装置及其方法,用以在一基板上形成薄膜组件,通过对基板产生波动,使附着于基板的微液滴在持续振动的基板表面固化成膜,通过物理性振动来破坏附着于基板的液滴的表面张力,使液滴在干涸的过程中保持住大部分的溶质,破坏溶质堆积于边缘的机制,而得到较平坦的薄膜均匀性,同时振动也可破坏微液滴的表面形状,使其更趋向于真圆形。 |
申请公布号 |
CN1273223C |
申请公布日期 |
2006.09.06 |
申请号 |
CN200310101854.0 |
申请日期 |
2003.10.21 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
郑兆凯;吕春福;邱琬雯 |
分类号 |
B05C5/00(2006.01);B05D1/02(2006.01) |
主分类号 |
B05C5/00(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
梁挥;陈红 |
主权项 |
1、一种微流体喷涂薄膜成形方法,用以在一基板上形成薄膜组件,其特征在于,其步骤包含:使该基板受到持续性的一波动而产生持续振动;分布多个微液滴于该基板表面;及使该微液滴在持续振动的该基板表面固化成膜,通过振动来破坏该微液滴附着于该基板的表面张力,进而破坏该微液滴所含的溶质堆积于该微液滴边缘的机制。 |
地址 |
台湾省新竹县 |