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发明名称 CAPACITOR HAVING TaON DIELECTRIC LAYER IN SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100618684(B1) 申请公布日期 2006.09.06
申请号 KR20000030086 申请日期 2000.06.01
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;H01L27/108;C23C16/30;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8242 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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