外观检查装置及外观检查方法

摘要

外观检查装置及外观检查方法。本发明的课题是提供能够识别因光源或光学元件等的不良因素造成的伪缺陷和基板本身的真缺陷的外观检查装置、及使用该装置的外观检查方法。作为解决手段，本发明的外观检查装置(1)通过观察照射到基板(6)的表面(6a)上的照明光的反射光进行基板(6)的检查，使光源(2)、以及使从光源(2)射出的光的方向偏转的第2反射镜(3)和第1反射镜(4)、或会聚偏转后的光的会聚透镜(5)等的光学元件中的至少一方周期性地或随机地摆动、或弯曲，来改变光轴或焦点位置，由此使由于照明光学系统的不良因素而在基板(6)上出现的伪缺陷摆动，从而识别伪缺陷和基板(6)本身所产生的真缺陷。

主权项

1.一种外观检查装置，通过观察来自基板表面的反射光进行所述基板的检查，其特征在于，具有：光源；基板支架，其把所述基板保持成相对于从该光源射出的照明光为适合于宏观检查的角度；至少一个光学元件，其与所述光源一起构成照明光学系统，可以改变从所述光源射出的所述照明光的光轴或焦点位置；以及驱动单元，其使所述光源或所述至少一个光学元件中的至少一方摆动，来改变所述光轴或所述焦点位置。