加速度传感器

摘要

提供一种微型的和薄的具有高灵敏度的半导体加速度传感器。该加速度传感器有一个在硅半导体基片的部分形成质量部，一个在该基片的周围部分形成的边框，设在质量部和边框的上部的弹性支撑臂，以及一组配置于弹性支撑臂的顶面侧的压电电阻对。质量部和厚边框的至少一方具有从各自的顶面向各自的底面扩展宽度的垂直于各自的顶面的横截面。由于在弹性支撑臂分别连接处的质量部的侧长度和/或边框的宽度变短，所以弹性支撑臂加长，借此传感器的灵敏度提高。

主权项

1.一种加速度传感器，包括：一个质量部，设置于加速度传感器的中央并具有顶面和对峙于该顶面的底面；一个厚边框，以离开该质量部预定距离环绕该质量部并具有顶面和对峙于该顶面的底面；多个弹性支撑臂，每个从质量部的顶面的一个边缘伸出，连接质量部的顶面边缘和厚边框顶面的一个内缘并把质量部悬架于厚边框内侧；以及多个配置于弹性支撑臂上的应变片，其中质量部和厚边框的至少一个具有从各自的顶面向各自的底面扩展宽度的垂直于各自的顶面的横截面。