发明名称 |
快速热处理系统排气压力控制方法 |
摘要 |
本发明揭示一种快速热处理(RTP)系统的排气压力控制方法,其中,一排气压力量测计被设置在快速热处理系统的主机体上,此排气压力量测计连接至快速热处理反应室排气管线,并具有一上限感测器及一下限感测器,以检视快速热处理系统的排气是否超出规格,在本方法中:当排气值超出规格时,讯号线会将讯号送到快速热处理系统,然后系统将会显示出警报讯息,以便通知操作人员来调整排气的调整器,藉此,能够将该快速热处理反应室的排气控制在预定的范围内,以利于制程中的压力控制。在将排气压力量测计添加入快速热处理排气系统中之后,人们能够控制处理室的排气,以便减少沉积于反射器上的某些物质,这将有利于制程中的压力控制,并且也可以减低PM频率。 |
申请公布号 |
CN1273657C |
申请公布日期 |
2006.09.06 |
申请号 |
CN200310108147.4 |
申请日期 |
2003.10.27 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
陈腾宏;卢祺;沈成刚;周利明 |
分类号 |
C30B33/02(2006.01);C21D1/76(2006.01) |
主分类号 |
C30B33/02(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陈亮 |
主权项 |
1.一种快速热处理系统的排气压力控制方法,其中,一排气压力量测计被设置在快速热处理系统的主机体上,该排气压力量测计连接至快速热处理反应室排气管线,并具有一上限感测器及一下限感测器,以检视快速热处理系统的排气是否超出规格,在该方法中:当排气值超出规格时,讯号线会将讯号送到快速热处理系统,然后该系统将会显示出警报讯息,以便通知系统维护人员来调整排气系统的调整器,藉此,能够将该快速热处理反应室的排气控制在预定的范围内,以利于制程中的压力控制。 |
地址 |
201203上海市张江路18号 |