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经营范围
发明名称
A HEATING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR FABRICATING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100621612(B1)
申请公布日期
2006.09.06
申请号
KR19990022265
申请日期
1999.06.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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