发明名称 制造图案化记录介质的方法
摘要 本发明提供了一种制造图案化记录介质的方法。该方法包括:将磁薄膜置于基片上;将硬质掩膜排列在磁薄膜上方,所述硬质掩膜具有多个规则分布在其中的通孔;照射硬质掩膜;和移走硬质掩膜。
申请公布号 CN1828732A 申请公布日期 2006.09.06
申请号 CN200610058141.4 申请日期 2006.03.06
申请人 三星电子株式会社 发明人 李丙圭
分类号 G11B5/84(2006.01) 主分类号 G11B5/84(2006.01)
代理机构 北京铭硕知识产权代理有限公司 代理人 韩明星;常桂珍
主权项 1、一种制造图案化记录介质的方法,该方法包括:将磁薄膜置于基片上;将硬质掩膜排列在磁薄膜上方,所述硬质掩膜具有多个规则地分布在其中的通孔;照射硬质掩膜;和移走硬质掩膜。
地址 韩国京畿道