用于有效载荷的洛伦兹电动机控制系统

摘要

用于控制多个洛伦兹电动机(1，2)的控制装置和方法，所述洛伦兹电动机致动一个具有重心(12)的有效载荷(4)。从感测所述有效载荷的高度的传感器接收高度信号(z1，z2)。根据这些高度信号(z1，z2)来计算所述重心关于一个水平轴的至少一个旋转角度，并且根据该至少一个旋转角度来计算用于所述洛伦兹电动机(1，2)的所述控制信号(C1，C2)，从而达到一个预定旋转刚度以支撑所述有效载荷(4)。一个典型的应用是悬置电子显微镜或者光刻设备，以便与地板震动隔离。

主权项

1、用于控制多个洛伦兹电动机(1，2)的控制装置，所述多个洛伦兹电动机致动一个具有重心(12)的有效载荷(4)，该控制装置包括一个控制器(8)，该控制器用于从感测所述有效载荷的高度的传感器接收高度信号(z1，z2)并且用于根据所述高度信号来计算用于所述洛伦兹电动机的控制信号(C1，C2)，其特征在于，所述控制器(8)用于根据所述高度信号(z1，z2)来计算所述重心关于一个水平轴的至少一个旋转角度，并且根据该至少一个旋转角度来计算用于所述洛伦兹电动机(1，2)的所述控制信号(C1，C2)，从而达到一个预定旋转刚度以支撑所述有效载荷(4)。