薄膜电学性能测量中提供外加原位应力的装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种在薄膜电学性能测量中提供外加原位机械应力的装置及测量方法，该装置包括螺旋测微器、支架和金属刀口，在支架上设有一开口，螺旋测微器安装在支架上，并位于开口的一侧，开口的另一侧支架上设有用来固定薄膜连同衬底的夹持器，金属刀口固定在螺旋测微器的可移动杆上。测量时，将薄膜连同衬底的一端同定在该装置的夹持器上，露出电极的另一端位于金属刀口处，通过调整螺旋测微器上的螺母可以给薄膜施加不同大小的张、压应力。本发明结构简单、操作方便，解决了长期以来不易在电学测量过程中对薄膜施加原位机械外应力的难题，它广泛适用于各种薄膜中应力对电学性能影响的研究。

主权项

1、一种薄膜电学性能测量中提供外加原位应力的装置，其特征是：它包括螺旋测微器(1)、支架(2)和金属刀口(3)，在支架(2)上设有一开口，螺旋测微器(1)安装在支架(2)上，并位于开口的一侧，开口的另一侧支架(2)上设有用来固定薄膜连同衬底的夹持器(4)；金属刀口(3)固定在螺旋测微器(1)的可移动杆上。