置于真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置

摘要

本实用新型公开一种真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置。半导体冷阱为一真空容器，在容器里，四周置有塔状的器件。器件是由金属板、半导体致冷器件、感温探头、金属水冷板、水管组成，半导体致冷器件居金属板和金属水冷板间，感温探头粘接在金属板上，金属板在半导体致冷器件的上方，导线的一端和半导体致冷器件连接，另一端和容器外的真空密封电极连接；金属水冷板下方设有水管，水管接冷却水管引出口。感温探头通过导线与控制器连接。本实用新型克服目前在真空室和主泵、粗抽管道和粗抽泵之间增加捕油液氮冷阱和氟里昂制冷障板的不足，有效的阻挡油封机械泵对真空粗抽系统的返油，克服或减少油气对真空系统的危害，从而提高了真空系统的真空度，满足加速器工作要求。

主权项

1、一种置于真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置，通过阀门(2、4、6、8)、管道分别与分子泵(3)、油封机械泵(7)、真空室(1)连接，其特征是半导体冷阱(5)为一真空容器，在容器里，四周置有塔状的器件，器件是由金属板(9)、感温探头(14)、半导体致冷器件(11)、金属水冷板(12)、水管(13)组成，半导体致冷器件(11)居金属板(9)和金属水冷板(12)间，感温探头(14)粘接在金属板(9)上，金属板(9)在半导体致冷器件(11)的上方，导线(10)的一端和半导体致冷器件(11)连接，另一端和容器外的真空密封电极(16)连接；金属水冷板(12)下方设有水管(13)，水管(13)接冷却水管引出口(17)，感温探头(14)通过导线(15)与控制器(18)连接。