发明名称 METHOD FOR PRODUCING AN INTEGRATED CAPACITOR
摘要
申请公布号 EP1277229(B1) 申请公布日期 2006.09.06
申请号 EP20010931633 申请日期 2001.04.20
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AUGUSTIN, ANDREAS;KLEIN, WOLFGANG;BARTH, HANS-JOACHIM
分类号 H01L21/02;H01L21/768 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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