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发明名称
摘要
申请公布号	JP3818620(B2)	申请公布日期	2006.09.06
申请号	JP19990131413	申请日期	1999.05.12
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;G03F7/20	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址

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